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隐冠首台高速高加速运动平台顺利交付!

2023年1月13日,隐冠半导体自主研发生产的首台高速高加速运动平台成功发运交付客户!自2022年启动该项目以来,隐冠研发与生产团队克服重重困难,深化自主创新投入,努力突破技术壁垒,在夜以继日的共同努力下,最终产品出厂检验顺利通过,团队今日共同见证产品发运这一意义重大的时刻。


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隐冠自主研发的高速高加速运动平台是一种复合式、大行程、高加速的运动平台。该平台采用复合导向技术解决了高速运动时垂向的跳动问题,同时利用平衡质量技术解决了高加速运动时的冲击问题,提升了平台在高速高加速运动时的稳定性,提高了平台整体运动性能。

随着半导体制造装备向着高质量和高效率的方向不断发展,其核心运动部件——运动平台的高速高加速度运动特性是为影响装备整机性能的关键因素之一,隐冠坚定地以此作为研发目标,专注于实现快速、精确定位的控制,从而突破运动平台设计以及运动控制系统实现的技术难关。如今,隐冠首台高速高加速运动平台的研制成功,标志着隐冠在实现更高加速度运动平台的技术开发层面取得了新的突破及相关技术积累。


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作为以自主研发为核心的创新型企业,隐冠始终将技术创新作为必然选择,以“为客户创造价值、创新至上、开放融合”的企业精神作为奋进的能量源泉。隐冠将继续夯实产品品质,顺应产业变革,把握时代机遇,促进关键核心技术创新应用和成果转化落地,努力提升精密装备设计与制造水平,以助力我国先进半导体装备的自主研发与产业化更快、更好发展,为半导体装备关键核心技术攻坚贡献智慧和力量。


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