2023年苏锡常首台（套）重大装备拟认定名单出炉，共有70个装备入选，苏锡常首台(套)重大装备是指苏州、无锡、常州三市企业通过研发创新，在品种、规格或技术参数等方面有重大突破，具有自主知识产权的国际或国内首台(套)高端装备和关键部件，整机性能或核心技术指标达到国内领先或国际同类装备先进水平。
苏州30个装备上榜（苏州位列第一），苏州市30个，无锡市20个，常州市20个。苏州、无锡、常州三市将在认定的苏锡常首台（套）重大装备中择优推荐申报江苏省首台（套）重大装备。
苏州具体名单如下：
喜报
昆山高新区
苏州智程半导体科技股份有限公司
全自动单式清洗机（ZCWB-A3）
成功入选
苏州智程半导体科技股份有限公司是一家专业研发、生产、销售半导体清洗设备的国家专精特新“小巨人”企业，产品几乎覆盖半导体行业所有湿制程工艺，主导产品全自动化合物半平体槽式清洗机的国内市场占有率排名第一。公司先后承担江苏省重点研发计划、苏州市产业前瞻与共性技术等多个重点项目，并建有江苏省企业工程技术研究中心、苏州市企业技术中心、苏州市工业设计中心等研发平台。公司曾荣获江苏省瞪羚企业、苏州市服务型制造示范企业、知识产权成长型企业、知识产权标杆企业等荣誉称号。
此次上榜设备全自动单式清洗机（ZCWB-A3）针对大尺寸薄片晶圆全自动清洗，处理能力为8英寸晶圆最小厚度150μm、12英寸晶圆最小厚度200μm，清洗效率高。公司自主开发的翘曲晶圆吸附技术、精准定位技术、伯努利非接触式抓取技术工艺先进、产能大，填补了国内薄片晶圆8英寸和12英寸全自动清洗装备的空白，处于国内领先地位。
截至目前，全区拥有
省首台（套）重大装备21家
占全市比重40%
苏锡常首台（套）重大装备4家
占全市比重45%
均位列全市第一
智程半导体在各项设备评选中，多次入选，见证了智程的实力。智程在研发的道路上任重且长，永不停歇，将加大创新研发投入和装备研发，打造具有核心知识产权的高端装备工程。
